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5.2.2软件流程：本流程图主要描述设备的操纵流程。首先对设备进行初始化操纵，当设备状态正常，则启动自动腐蚀清洗流程。首先机械手对送片盒进行扫描确定送片盒存在晶片的位置，然后取片，并放到定位机构进行晶片位置较准，接下来机械手将校准完的晶片置于腐蚀清洗腔中。控制系统根据预先设定好的工艺文件对晶片进行腐蚀、清洗、甩干。工艺处理结束后，机械手从腐蚀清洗腔中取片，然后放到收片盒中，单个晶片的工艺流程执行结束，机械手开始执行下一个晶片的工艺流程。